Contrôle d'un échantillon gravé, à l'aide d'un microscope optique

Contrôle d'un échantillon grâce à un microscope optique, pour vérifier la gravure des motifs. Les microscopes optiques ont la capacité de visualiser des micro et nanostructures jusqu'à la centaine de nanomètres. Ils permettent aussi de mesurer la résolution des motifs de résine, ou de matériaux structurés après une étape de dépôt ou de gravure de couches minces. Grâce à leurs différentes fonctionnalités, il est possible d'observer une couche métallique en oblique.