Système optique laser permettant la mesure de courbure d'un substrat en cours de croissance

Système optique laser permettant la mesure de courbure d'un substrat en cours de croissance. Il s'agit d'un système multi-faisceau créé par une source laser (en bas à droite) et deux lames séparatrices (au milieu à droite) à partir duquel il est possible de détecter à l'aide d'une caméra (en bas à gauche) la déflexion des faisceaux réfléchis par un substrat courbe. Ce dispositif est spécifiquement approprié pour s'affranchir des problèmes de vibration mécanique, et ainsi obtenir une résolution de l'ordre 4 km en rayon de courbure. Il s'intègre au bâti de dépôt par pulvérisation magnétron (PUMA) de l'Institut Pprime.