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Référence
20170023_0036
Contrôle des paramètres pendant la phase de dépôt dans une chambre d’évaporation thermique
Contrôle des paramètres pendant la phase de dépôt dans une chambre d’évaporation thermique utilisée pour la réalisation de couches minces sous ultravide. Cette chambre est destinée au dépôt de nanostructures magnétiques pour l’électronique de spin et fait partie d’un ensemble expérimental sous vide, composé également d’une chambre de traitement et d’une chambre de pulvérisation cathodique.
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