© Hubert RAGUET / CNRS Images
Référence
20060001_0404
Procédés d'élaboration de films minces par MBE (Molecular Beam Epitaxy ou épitaxie par jets molécula
Procédés d'élaboration de films minces par MBE (Molecular Beam Epitaxy ou épitaxie par jets moléculaire). Banc de traitement MBE connecté à une microsonde AUGER. Lorsque le film mince est placé sur la platine porte-échantillon du spectromètre Auger, sa composition peut être quantifiée, les liaisons chimiques étudiées et la répartition des atomes sur la surface observée avec une résolution latérale inférieure à 100 nm.
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