Système d'analyse par faisceaux d'ions rapides (SAFIR) utilisé pour analyser la composition et la st

Système d'analyse par faisceaux d'ions rapides (SAFIR) utilisé pour analyser la composition et la structure cristalline de la région superficielle (1-1000nm) des solides. Des particules légères (protons, deutons, alphas ...) produites par l'accélérateur Van de Graaff sont envoyées dans les chambres d'analyse. Une analyse des produits de réaction (identité, quantité, spectre en énergie) de ces derniers avec la surface à analyser permet l'identification quantitative des espèces atomiques et isotopiques présentes, de leurs profils de composition, et de la cristallinité de l'échantillon.