20060001_0103
© Hubert RAGUET/CNRS Photothèque

Mesure au profilomètre à stylet d'une structure micrométrique pour la microfabrication de dispositif

Référence

20060001_0103

Année de production

2006

Taille maximale

32.78 x 21.95 cm / 300 dpi

Légende

Mesure au profilomètre à stylet d'une structure micrométrique pour la microfabrication de dispositifs microfluidiques. Sur le substrat de silicium est déposé un film mince de résine photosensible gravée ensuite par exposition à une radiation lumineuse. La photolithographie est une étape essentielle à la microfabrication.

Délégation(s)

Thématiques scientifiques

CNRS Images,

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