Année de production
2006
© Hubert RAGUET / CNRS Images
Référence
20060001_0103
Mesure au profilomètre à stylet d'une structure micrométrique pour la microfabrication de dispositif
Mesure au profilomètre à stylet d'une structure micrométrique pour la microfabrication de dispositifs microfluidiques. Sur le substrat de silicium est déposé un film mince de résine photosensible gravée ensuite par exposition à une radiation lumineuse. La photolithographie est une étape essentielle à la microfabrication.
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