20060001_0103

© Hubert RAGUET / CNRS Images

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20060001_0103

Mesure au profilomètre à stylet d'une structure micrométrique pour la microfabrication de dispositif

Mesure au profilomètre à stylet d'une structure micrométrique pour la microfabrication de dispositifs microfluidiques. Sur le substrat de silicium est déposé un film mince de résine photosensible gravée ensuite par exposition à une radiation lumineuse. La photolithographie est une étape essentielle à la microfabrication.

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