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Référence
20030001_1085
Décharge capacitive radio-fréquence (13,56 MHz) à barrière multipolaire. Les zones les plus lumineus
Décharge capacitive radio-fréquence (13,56 MHz) à barrière multipolaire. Les zones les plus lumineuses correspondent au piègeage des électrons rapides (10-20 eV) par les lignes de champ de la barrière magnétique. Conditions de fonctionnement : oxygène / 5m Torr / 200 Watt. Applications aux dépôts de couches minces à partir de précurseurs organosiliciés, aux couches barrière, aux dépôts par polymérisation plasma de monomères.
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