20020001_0726

© Laurence MEDARD/CNRS Images

Référence

20020001_0726

Plasma d'azote pour implantation ionique par immersion plasma. Génie des réacteurs plasma basse pres

Plasma d'azote pour implantation ionique par immersion plasma. Génie des réacteurs plasma basse pression excités à la Résonance Cyclotronique Electronique (RCE) à 2,45 GHz pour application aux traitements de surface : dépôts de couches métalliques par pulvérisation assistée par plasma, implantation ionique, gravure...

Délégation(s)

Thématiques scientifiques

CNRS Images,

Nous mettons en images les recherches scientifiques pour contribuer à une meilleure compréhension du monde, éveiller la curiosité et susciter l'émerveillement de tous.