Année de production
1997
© Laurence MEDARD/CNRS Images
Référence
19970001_0527
Pulvérisation cathodique assistée par ordinateur, pour le dépôt de senseurs thermiques en films ultr
Pulvérisation cathodique assistée par ordinateur, pour le dépôt de senseurs thermiques en films ultraminces (10 nm). Objectif : étude des propriétés thermiques des surfaces et films ultraminces.
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