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Référence
19940001_0245
Microstructures en résine plastique réalisées par technique LIGA-X (hauteur 300 µm, largeur de 5-500
Microstructures en résine plastique réalisées par technique LIGA-X (hauteur 300 µm, largeur de 5-500 µm). Collaboration avec l'Institut des Microtechniques de Franche-Comté (IMFC), le Laboratoire pour le Rayonnement Electromagnétique (Lure) et le Laboratoire de Microstructures et de Microélectronique
(L2M).
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