20200089_0008

© Meriem BOUCHILAOUN / LN2 / CNRS Images

Reference

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Floraison nanométrique

Lors de la fabrication d’un microprocesseur, chaque manipulation requiert une extrême précision. L’une des étapes de base consiste à déposer une couche de résine photosensible sur la surface d’une plaquette d’un matériau semi-conducteur, ici de l’arséniure de gallium. C'est à travers cette couche de résine, qui a la forme de l'image que l'on souhaite imprimer sur le substrat, que le matériau sera gravé. Toutefois, à l’échelle nanométrique, la moindre impureté ou le moindre incident de manipulation peut provoquer des désordres géométriques inattendus. Sur ce composant de la taille d’une pièce de monnaie, des résidus de résine semblent avoir mystérieusement bourgeonné, révélant des motifs délicats qui évoquent la forme des sakuras, les cerisiers ornementaux du Japon. Cette image est visualisée par microscopie électronique à balayage. Cette image est lauréate du concours La preuve par l’image (LPPI) 2020.

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