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Reference
20170142_0034
Cible 3" d'un matériau ultra-pur utilisée pour la fabrication de couches minces
Cible de 7,5 cm de diamètre (3") d'un matériau ultra-pur utilisée pour la fabrication par pulvérisation magnétron de couches minces. La zone d'érosion présente un profil circulaire caractéristique de la présence d'aimants concentriques sous la cible, pour augmenter le rendement de pulvérisation de ce procédé. Les différents éclats visibles, à l'échelle des grains du matériau, sont dus aux effets de pulvérisation préférentielle, suivant l'orientation cristallographique.
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