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Reference
20170142_0029
Zone d'érosion d'une cible métallique ultrapure après impact par un faisceau d'ions énergétiques
Zone d'érosion d'une cible métallique ultrapure après impact par un faisceau d'ions énergétiques (1,2 keV), lors d'un procédé de pulvérisation ionique. Ce type de cible est utilisé dans les technologies physiques en phase vapeur, pour la réalisation de couches minces par pulvérisation magnétron ou par faisceau d'ions.
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