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20170142_0029

© Cyril FRESILLON / PPRIME / CNRS Images

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20170142_0029

Zone d'érosion d'une cible métallique ultrapure après impact par un faisceau d'ions énergétiques

Zone d'érosion d'une cible métallique ultrapure après impact par un faisceau d'ions énergétiques (1,2 keV), lors d'un procédé de pulvérisation ionique. Ce type de cible est utilisé dans les technologies physiques en phase vapeur, pour la réalisation de couches minces par pulvérisation magnétron ou par faisceau d'ions.

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