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Reference
20170142_0021
Mise en place d'un porte-échantillon dans un implanteur ionique moyen courant "EATON".
Mise en place d'un porte échantillon dans un implanteur ionique moyen courant "EATON". Le support échantillon est placé dans une cage de type faraday associée à un ampèremètre pour la mesure du courant, permettant ainsi la mesure précise de la quantité des ions implantés dans le matériau cible. Par ailleurs, le caisson d'implantation a été modifié pour recevoir des porte-échantillons spécifiques, permettant l'implantation d'éléments dans une large gamme de température allant de l'azote liquide à 800 °C.
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