20050001_0376

© Jérôme CHATIN/CNRS Images

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20050001_0376

Chargement d'un porte-échantillon pour la lithographie électronique. La lithographie électronique es

Chargement d'un porte-échantillon pour la lithographie électronique. La lithographie électronique est une étape indispensable pour la réalisation de masques optiques, ou pour l'écriture directe et la réalisation de nanostructures de taille réduite (10 nm-500 nm).

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