Préparation d'échantillons par faisceau d'ions focalisés (FIB). Cet appareil est équipé de deux cano

Préparation d'échantillons par faisceau d'ions focalisés (FIB). Cet appareil est équipé de deux canons : un canon à électrons et un canon à ions Ga (gallium). La source d'électrons permet d'imager la surface de l'échantillon selon le même principe qu'un microscope électronique à balayage conventionnel. Le second canon émet un faisceau d'ions Ga dont il est possible de faire varier l'énergie et l'intensité. Le positionnement précis du faisceau d'ions rend possible la réalisation par érosion d'un motif ayant la forme désirée. C'est ce faisceau d'ions qui permet la préparation de coupes ultraminces dans les échantillons géologiques mais qui peut également servir à un micro-usinage ou à la fonctionnalisation de nano-objets.