Chambre d'analyse goniométrique en technologie ultra-vide montée sur le système d'analyse par faisce

Chambre d'analyse goniométrique en technologie ultra-vide montée sur le système d'analyse par faisceaux d'ions rapides (SAFIR) utilisé pour analyser la composition et la structure cristalline de la région superficielle (1-1000nm) des solides. L'évolution de la structure et de la composition de la surface ultra-propre d'un monocristal sous divers traitements tels que l'oxydation ou le dépôt d'une fine couche atomique est suivie par la diffusion d'ions issus d'un accélérateur de type Van de Graaff. Des taux de couverture de l'ordre de la dixième de monocouche atomique, et des déplacements atomiques de l'ordre du centième d'un nanomètre sont couramment mesurés.