© Cédric BRELUZEAU/CNRS Images
Référence
20050001_0601
Motifs en silicium représentant des engrenages réalisés par gravure profonde. Ces images ont été obt
Motifs en silicium représentant des engrenages réalisés par gravure profonde. Ces images ont été obtenues au moyen d'un profilomètre optique Fogale Nanotech (système ZoomSurf) par interférométrie en lumière blanche. Hauteur des motifs : 21 µm.
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