Plasma multi-dipolaire constitué de deux couronnes de 10 sources élémentaires. Les zones lumineuses

Plasma multi-dipolaire constitué de deux couronnes de 10 sources élémentaires. Les zones lumineuses correspondent au couplage RCE (Résonance Cyclotronique Electronique) autour du dipôle magnétique (aimant) de chaque source. Les conditions de fonctionnement sont les suivantes : argon / 0,8 mTorr / 120 W par source. L'objectif est la réalisation de nouvelles sources de génération de plasma de grandes dimensions. Application des plasmas multi-dipolaires à des procédés tels que les dépôts par PACVD (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma), la pulvérisation directe ou réactive assistée par plasma, l'implantation ionique par immersion plasma et leurs combinaisons.