Année de production
1997
© Laurence MEDARD/CNRS Images
Référence
19970001_0528
L'enceinte ultravide au centre renferme un faisceau d'ions focalisé, capable de graver des films min
L'enceinte ultravide au centre renferme un faisceau d'ions focalisé, capable de graver des films minces avec une résolution de 0,03 micromètres. Etude des propriétés thermiques des surfaces et films ultraminces.
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