19950001_1028

© Alain MURIOT/CNRS Images

Référence

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Etude des interfaces et de la croissance des matériaux déposés en couches minces par plasma. Intérie

Etude des interfaces et de la croissance des matériaux déposés en couches minces par plasma. Intérieur du réacteur de dépôt de couches minces par plasma multichambre.

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