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Référence

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Technique innovante pour mesurer le relief des semiconducteurs par traitement d'images interférentie

Technique innovante pour mesurer le relief des semiconducteurs par traitement d'images interférentielles. Analyse du relief autour de la source, la grille et le drain d'un transistor métallique à effet de champ sur arséniure de gallium. (Réf. CNRS-INFO N°282 Mars 94).

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