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Référence
20030001_0465
Elaboration de multicouches pour l'optique dans le domaine XUV : machine de dépôt par pulvérisation
Elaboration de multicouches pour l'optique dans le domaine XUV : machine de dépôt par pulvérisation par faisceau d'ion implantée dans la salle à empoussièrement contrôlé de l'Institut d'Optique. Les optiques XUV ont des applications notamment dans le domaine de l'imagerie solaire, de l'utilisation du Laser X et des sources à génération d'harmoniques, ainsi que dans l'interférométrie XUV.
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