© Alain MURIOT/CNRS Images
Référence
19950001_1028
Etude des interfaces et de la croissance des matériaux déposés en couches minces par plasma. Intérie
Etude des interfaces et de la croissance des matériaux déposés en couches minces par plasma. Intérieur du réacteur de dépôt de couches minces par plasma multichambre.
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