Système de transfert sous vide d’échantillons entre les différentes enceintes d'un cluster

Système de transfert sous vide d’échantillons entre les différentes enceintes d'un cluster de croissance d'oxydes fonctionnels. Ce cluster est composé de 2 bâtis d'ablation laser pulsé (PLD - pulsed laser déposition), d’un bâti de pulvérisation cathodique et d’un système XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) pour réaliser des analyses in situ. En PLD, un laser pulsé vient ablater une cible constituée du matériau que les chercheurs veulent déposer en couches minces. Les atomes contenus dans le plasma ainsi créé se déposent sur un substrat et forment une couche mince.