Banc de micro-optique pour la caractérisation de composants MOEMS (systèmes micro-opto-électro-mécan

Banc de micro-optique pour la caractérisation de composants MOEMS (systèmes micro-opto-électro-mécaniques) pour l'astronomie au sol et dans l'espace. Ce banc permet la mesure des états de surface, des déformations, des déplacements, en régime statique et dynamique, avec une précision sub-nanométrique. Parmi les composants testés : micromiroirs déformables et fentes programmables pour des applications en optique adaptative et en spectroscopie multi-objets.