Temps-fréquence à l'ONERA

Micromagnétomètre fondé sur l'utilisation d'un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique de wafers de quartz. La variation de fréquence du résonateur est proportionnelle au champ magnétique mesuré. Les bonnes performances des résonateurs en flexion utilisés sont : facteur de qualité de 12 000 pour une fréquence de 60 kHz. Ils permettent de réaliser des magnétomètres de résolution 10 nanoteslas (nT). Ces capteurs sont utilisés dans les centrales…

Intégration d'un microrésonateur en quartz sur une embase métallique. Ce type de microrésonateur peut notamment être utilisé pour fabriquer des microaccéléromètres. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Table tournante dans une enceinte climatique, permettant de caractériser et calibrer les capteurs inertiels vibrants fondés sur l'utilisation de microrésonateurs en quartz. Ces microrésonateurs sont utilisés dans le domaine du Temps-fréquence, car ils représentent des références de temps avec une fréquence très stable. Ils sont aussi utilisés pour réaliser des capteurs de grande précision : accéléromètre, gyromètre, magnétomètre. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du…

Machine d'insolation de motifs de microrésonateurs par photolithographie. Une lampe à ultraviolet éclaire un wafer en quartz à travers un masque sur lequel sont inscrits les motifs. Ces microrésonateurs sont utilisés dans le domaine du Temps-fréquence, car ils représentent des références de temps avec une fréquence très stable. Ils sont aussi utilisés pour réaliser des capteurs de grande précision : accéléromètre, gyromètre, magnétomètre. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA,…

Machine d'insolation de motifs de microrésonateurs par photolithographie. Une lampe à ultraviolet éclaire un wafer en quartz à travers un masque sur lequel sont inscrits les motifs. Ces microrésonateurs sont utilisés dans le domaine du Temps-fréquence, car ils représentent des références de temps avec une fréquence très stable. Ils sont aussi utilisés pour réaliser des capteurs de grande précision : accéléromètre, gyromètre, magnétomètre. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA,…

Station sous pointes en salle blanche permettant de caractériser des microrésonateurs sur leur wafer de quartz, en fin de fabrication. Une fois les résonateurs usinés, ils sont excités via les électrodes pour mesurer leur impédance électrique sous air et ensuite sous vide. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Station sous pointes en salle blanche permettant de caractériser des microrésonateurs sur leur wafer de quartz, en fin de fabrication. Une fois les résonateurs usinés, ils sont excités via les électrodes pour mesurer leur impédance électrique sous air et ensuite sous vide. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Station sous pointes en salle blanche permettant de caractériser des microrésonateurs sur leur wafer de quartz, en fin de fabrication. Une fois les résonateurs usinés, ils sont excités via les électrodes pour mesurer leur impédance électrique sous air et ensuite sous vide. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Cellule en cuivre dans laquelle est placé un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique. Le vide est ensuite fait dans la cellule, elle est scellée et le microrésonateur reste sous vide. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Cellule en cuivre dans laquelle est placé un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique. Le vide est ensuite fait dans la cellule, elle est scellée et le microrésonateur reste sous vide. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Cellule en cuivre dans laquelle est placé un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique. Le vide est ensuite fait dans la cellule, qui est scellée afin que le microrésonateur reste sous vide. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Cellule en cuivre dans laquelle est placé un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique. Le vide est ensuite fait dans la cellule, elle est scellée et le microrésonateur reste sous vide. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Report des connections d'un microrésonateur en quartz à l'embase métallique sur laquelle il est intégré. Ce type de microrésonateur peut notamment être utilisé pour fabriquer des microaccéléromètres. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Microrésonateur en quartz intégré sur une embase métallique et déposé sur un support où sont présentes plusieurs embases. Ce type de microrésonateur peut notamment être utilisé pour fabriquer des microaccéléromètres. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Microaccéléromètre fondé sur l'utilisation d'un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique de wafers de quartz. La variation de fréquence du résonateur est proportionnelle à l'accélération subie par la masse d'épreuve. Les bonnes performances des résonateurs en flexion utilisés sont : facteur de qualité de 12 000 pour une fréquence de 60 kHz. Ils permettent de réaliser des accéléromètres d'une résolution de 1 µg. Ces capteurs sont utilisés dans les…

Intégration d'un microrésonateur en quartz sur une embase métallique. Ce type de microrésonateur peut notamment être utilisé pour fabriquer des microaccéléromètres. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Intégration d'un microrésonateur en quartz sur une embase métallique. Ce type de microrésonateur peut notamment être utilisé pour fabriquer des microaccéléromètres. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Intégration d'un microrésonateur en quartz sur une embase métallique. Ce type de microrésonateur peut notamment être utilisé pour fabriquer des microaccéléromètres. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Substrat sur lequel sont réalisés des couches monoatomiques de graphène destinées à des mesures de concentration de gaz. Cette photographie a été réalisée au sein de l'ONERA, membre du réseau d'excellence FIRST-TF porté par le CNRS.

Microgyromètre fondé sur l'utilisation d'un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique de wafers de quartz. La variation d'amplitude du résonateur est proportionnelle à la vitesse de rotation mesurée. Les bonnes performances des résonateurs en flexion utilisés sont : facteur de qualité de 100 000 pour une fréquence de 20 kHz. Ils permettent de réaliser des gyromètres de résolution 10 °/h. Ces capteurs sont utilisés dans les centrales inertielles de grande…

Microgyromètre fondé sur l'utilisation d'un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique de wafers de quartz. La variation d'amplitude du résonateur est proportionnelle à la vitesse de rotation mesurée. Les bonnes performances des résonateurs en flexion utilisés sont : facteur de qualité de 100 000 pour une fréquence de 20 kHz. Ils permettent de réaliser des gyromètres de résolution 10 °/h. Ces capteurs sont utilisés dans les centrales inertielles de grande…

Microaccéléromètre fondé sur l'utilisation d'un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique de wafers de quartz. La variation de fréquence du résonateur est proportionnelle à l'accélération subie par la masse d'épreuve. Les bonnes performances des résonateurs en flexion utilisés sont : facteur de qualité de 12 000 pour une fréquence de 60 kHz. Ils permettent de réaliser des accéléromètres d'une résolution de 1 µg. Ces capteurs sont utilisés dans les…

Microaccéléromètre fondé sur l'utilisation d'un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique de wafers de quartz. La variation de fréquence du résonateur est proportionnelle à l'accélération subie par la masse d'épreuve. Les bonnes performances des résonateurs en flexion utilisés sont : facteur de qualité de 12 000 pour une fréquence de 60 kHz. Ils permettent de réaliser des accéléromètres d'une résolution de 1 µg. Ces capteurs sont utilisés dans les…

Micromagnétomètre fondé sur l'utilisation d'un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique de wafers de quartz. La variation de fréquence du résonateur est proportionnelle au champ magnétique mesuré. Les bonnes performances des résonateurs en flexion utilisés sont : facteur de qualité de 12 000 pour une fréquence de 60 kHz. Ils permettent de réaliser des magnétomètres de résolution 10 nanoteslas (nT). Ces capteurs sont utilisés dans les centrales…

Microaccéléromètre fondé sur l'utilisation d'un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique de wafers de quartz. La variation de fréquence du résonateur est proportionnelle à l'accélération subie par la masse d'épreuve. Les bonnes performances des résonateurs en flexion utilisés sont : facteur de qualité de 12 000 pour une fréquence de 60 kHz. Ils permettent de réaliser des accéléromètres d'une résolution de 1 µg. Ces capteurs sont utilisés dans les…

Microaccéléromètre fondé sur l'utilisation d'un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique de wafers de quartz. La variation de fréquence du résonateur est proportionnelle à l'accélération subie par la masse d'épreuve. Les bonnes performances des résonateurs en flexion utilisés sont : facteur de qualité de 12 000 pour une fréquence de 60 kHz. Ils permettent de réaliser des accéléromètres d'une résolution de 1 µg. Ces capteurs sont utilisés dans les…