Montage d'un microsystème électromécanique (MEMS) sur un porte-objet

Montage d'un microsystème électromécanique (MEMS) sur un porte-objet HennyZ dit in situ du microscope électronique en transmission à balayage NION CHROMATEM du Laboratoire de Physique des Solides (LPS). L'échantillon est déposé sur le support MEMS composé de plusieurs contacts électriques permettant de chauffer localement et/ou polariser électriquement l'échantillon. CHROMATEM permet de sonder localement la structure chimique, électronique et optique de nano-objets par spectroscopie de perte d'énergie des électrons et cathodoluminescence à l'échelle du nanomètre, voire à l'échelle de la colonne atomique. Ce microscope permet de développer des techniques originales de spectromicroscopie combinant photons et électrons en associant résolutions énergétique (jusqu'à 5 meV) et spatiale (en dessous de l'angström) ultimes. CHROMATEM est le premier microscope équipé à la fois d'un monochromateur de nouvelle génération, d'un correcteur d'aberrations sphériques, d'un porte-objet dit in situ et d'un système d'injection et de détection de lumière. Ce microscope est l'un des trois équipements de l'Equipex TEMPOS (Transmission Electron Microscopy at Palaiseau Orsay Saclay).