Observation d'un métal en cours de fusion dans un équipement de dépôt de couches minces

Observation d'un métal en cours de fusion à l'intérieur d'un équipement de dépôt de couches minces par évaporation ebeam. Cette technique permet de déposer des métaux (Ti, Cr, Au, Al, Sn, Ni) avec une haute température de fusion, grâce à un balayage d'électrons. La vitesse de dépôt et donc la taille des grains des métaux déposés sont contrôlées grâce à une microbalance à quartz. Ce type de dépôt est, entre autres, utilisé pour réaliser des prises de contacts métalliques sur des électrodes.