Plaquette porte-échantillon pour un système d'analyse par faisceau d'ions rapides (SAFIR). Dans une

Plaquette porte-échantillon pour un système d'analyse par faisceau d'ions rapides (SAFIR). Dans une chambre sous vide, le porte-échantillon est déplacé devant le faisceau de particules issues de l'accélérateur de type Van de Graaff afin de présenter en série les différents échantillons à analyser. Une analyse quantitative des spectres obtenus par les détecteurs de particules permet de remonter aux profils de concentration et de structure de la région superficielle des échantillons. Typiquement, les échantillons sont des lames minces de silicium ou des feuilles de métal, recouvertes des couches fines (1-1000nm) d'oxydes, de nitrures, ou des couches métalliques dont les profils de composition sont à déterminer.