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Reference
20040001_0690
Observation en surface d'un dépôt craqué de silice sur un support polymère lors de la phase d'élabo
Observation en surface d'un dépôt craqué de silice sur un support polymère lors de la phase d'élaboration d'une couche mince par procédé plasma. Le plasma est un mélange de molécules, de fragments de molécules neutres ou ionisées, et d'électrons. Le procédé plasma est une méthode qui utilise ces molécules pour créer des couches minces. Ce procédé est utilisé dans l'industrie des couches minces, électronique, optique...
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