Production year
1994
© Laurence MEDARD/CNRS Images
Reference
19940001_0789
Bâti de dépôt multichambre. Plusieurs chambres de dépôt de couches minces par pulvérisation ou décom
Bâti de dépôt multichambre. Plusieurs chambres de dépôt de couches minces par pulvérisation ou décomposition d'un gaz assistée par un plasma radio-fréquence sont couplées au module central. On y élabore des couches minces amorphes et polycristallines d'alliages à base de silicium.
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