Salle blanche de microlithographie optique. La lithographie optique permet de transférer un motif de

Salle blanche de microlithographie optique. La lithographie optique permet de transférer un motif de taille micronique depuis un masque vers un film mince de photo-résine en insolant cette résine par une lampe UV. La résine est un polymère dont les molécules sont fragilisées après exposition à la lumière. L'étape suivante consiste à retirer la résine dans les parties exposées en utilisant un développeur chimique. On vérifie au microscope optique le bon déroulement du procédé à chacune des différentes étapes.