Plasma de moyenne puissance réalisé en mélange hydrogène / méthane dans une cavité micro-onde, pour

Plasma de moyenne puissance réalisé en mélange hydrogène / méthane dans une cavité micro-onde, pour l'élaboration de monocristaux de diamant. Ces couches de diamant élaborées par plasma micro-onde sont utilisées pour des applications en électronique de puissance, des dispositifs à onde acoustique de surface, des fenêtres optiques ou drains de chaleur. Elles sont aussi utilisées pour la compréhension des processus se déroulant dans le plasma, des processus de croissance cristalline ainsi que la modélisation des phénomènes couplés.