20050001_0258

© Xavier PIERRE/CNRS Images

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20050001_0258

Dépôt de couches minces d'oxyde de zinc transparentes et conductrices par pulvérisation cathodique R

Dépôt de couches minces d'oxyde de zinc transparentes et conductrices par pulvérisation cathodique RF sur substrats de 30 cm x 30 cm et destinées à la fabrication d'un nouveau type de modules solaires photovoltaïques en couches minces. Vue intérieure du sas d'entrée des substrats.

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