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Référence
20150001_1136
Photolithographie de canaux microfluidiques sur silicium
Photolithographie de canaux microfluidiques sur silicium, réalisée à l’aide de résines photosensibles SU-8 (droite) et AZ40XT (gauche). L'objectif est de réaliser des systèmes microfluidiques complexes.
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