Dépôt mince d'électrodes métalliques, ou "sputtering", sur un microréacteur plasma

Dépôt mince d'électrodes métalliques, ou "sputtering", sur un microréacteur plasma. Afin de faire circuler un courant électrique à travers le microréacteur et ainsi générer un plasma, il faut y déposer des électrodes métalliques, ici en utilisant la pulvérisation plasma à basse pression. Elle est réalisée dans une salle spécifique, dite salle blanche, dans laquelle n'entrent ni poussières, ni polluants. Le plasma, qui est un état énergétique de la matière, ouvre la voie à des procédés chimiques industriels plus sûrs, plus efficaces et respectueux de l’environnement. Pour maîtriser cette approche, les scientifiques imaginent, développent et testent des réacteurs miniatures et en étudient les écoulements des fluides qui les traversent (plasma, liquide) : c'est la microfluidique.

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Ces recherches ont été financées en tout ou partie par l'Agence Nationale de la Recherche (ANR) au titre du projet ANR Plasm4chem – AAPG2018. Ce reportage a été réalisé et financé dans le cadre de l'appel à projet Sciences Avec et Pour la Société - Culture Scientifique Technique et Industrielle (SAPS-CSTI).