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20160007_0067
© Cyril FRESILLON/LMA/CNRS Photothèque

Bâti de dépôt de couches minces optiques

Reference

20160007_0067

Production year

2016

Max. size

41.72 x 27.77 cm / 300 dpi

Caption

Bâti de dépôt de couches minces par évaporation assistée par faisceau d’ions (IAD). Il a été dimensionné pour traiter des substrats d’un diamètre pouvant atteindre 810 mm. Il permet de déposer des couches diélectriques mais aussi des couches métalliques. Il est utilisé pour réaliser des couches minces optiques notamment pour des projets d’astronomie.

Research program(s)

CNRS Institute(s)

Regional office(s)

Scientific topics

CNRS Images,

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