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Reference
20130001_1197
Microscope électronique à balayage, dans une salle blanche du bâtiment Z de l'Institut Néel
Microscope électronique à balayage, dans une salle blanche du bâtiment Z de l'Institut Néel, utilisé à la fois comme outil d'observation et de fabrication à l'échelle nanométrique. Le faisceau d'électrons permet en effet de visualiser des circuits nanométriques mais aussi d'écrire directement sur un échantillon recouvert de résine électro-sensible. Des circuits dédiés à la physique fondamentale, à l'information quantique, sont ainsi fabriqués puis caractérisés dans ce même équipement.
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