20060001_1603

© François JANNIN/CNRS Images

Reference

20060001_1603

CeCaMA : Centre de Caractérisation des Matériaux Avancés. Appareils de caractérisation chimique et m

CeCaMA : Centre de Caractérisation des Matériaux Avancés. Appareils de caractérisation chimique et morphologique à l'échelle submicronique. Microsonde à spectrométrie d'électrons Auger. L'excitation par un faisceau d'électrons d'une vingtaine de nm de diamètre permet d'obtenir une information chimique avec une résolution spatiale exceptionnelle. Application à un procédé d'industrialisation en microélectronique.

CNRS Institute(s)

Regional office(s)

Scientific topics

CNRS Images,

Our work is guided by the way scientists question the world around them and we translate their research into images to help people to understand the world better and to awaken their curiosity and wonderment.