© Hubert RAGUET / CNRS Images
Reference
20060001_0405
Procédés d'élaboration de films minces par MBE (Molecular Beam Epitaxy ou épitaxie par jets molécula
Procédés d'élaboration de films minces par MBE (Molecular Beam Epitaxy ou épitaxie par jets moléculaire). Banc de traitement MBE connecté à une microsonde AUGER. L'échantillon est aligné sous le faisceau d'électron du spectromètre Auger à balayage. La composition du dépôt et les liaisons chimiques qui lient les atomes sont étudiées sur les premières couches atomiques de la surface. L'utilisation du canon à ion permet de définir les profils en profondeur des éléments sur quelques centaines de nanomètres.
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