20060001_0101

© Hubert RAGUET / CNRS Images

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20060001_0101

Substrat en silicium structuré pour la microfabrication de dispositifs microfluidiques

Substrat en silicium structuré pour la microfabrication de dispositifs microfluidiques. Sur le substrat de silicium est déposé un film mince de résine photosensible gravée ensuite par exposition à une radiation lumineuse. La photolithographie est une étape essentielle à la microfabrication.

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