Production year
2006
© Hubert RAGUET / CNRS Images
Reference
20060001_0101
Substrat en silicium structuré pour la microfabrication de dispositifs microfluidiques
Substrat en silicium structuré pour la microfabrication de dispositifs microfluidiques. Sur le substrat de silicium est déposé un film mince de résine photosensible gravée ensuite par exposition à une radiation lumineuse. La photolithographie est une étape essentielle à la microfabrication.
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