20130001_0753

© Cyril FRESILLON/CNRS Images

Référence

20130001_0753

Introduction d'un échantillon dans la chambre principale d'un microscope à double faisceau

Introduction d'un échantillon depuis le sas, dans la chambre principale d'un microscope à double faisceau ionique et électronique FIB-SEM (Focused ion beam - Scanning electron microscope), installé dans une salle propre. Le chercheur s'apprête à commencer la procédure d'alignement de l'échantillon et le réglage des faisceaux. Ce microscope est utilisé pour l'usinage de motifs jusqu'à 20 nm, grâce au faisceau ionique focalisé qui grave la matière avec les atomes de gallium incidents, à l'image d'un jet de sablage. Le microscope électronique permet d'observer la matière et l'usinage, avec une résolution d'un nm, sans endommager ou modifier la matière.

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