Bâtis pour le dépôt de couches minces métalliques ou d'oxydes par évaporation sous vide ou ultravide

Bâtis pour le dépôt de couches minces métalliques ou d'oxydes par évaporation sous vide ou ultravide. Des canons à électrons sont utilisés pour vaporiser les matériaux, qui se déposent sur un substrat que l'on peut éventuellement chauffer pour synthétiser des phases cristallines particulières. Un système de diagnostic in situ par diffraction d'électrons (RHEED) permet de suivre la croissance des couches minces au niveau atomique. Les couches minces sont l'ingrédient de base pour réaliser les nanostructures qui seront ensuite étudiées. Les recherches menées concernent principalement le transport électronique quantique dans des nanostructures et la diffusion de la chaleur à l'échelle nanométrique.