Année de production
2006
© Hubert RAGUET / CNRS Images
Référence
20060001_0102
Substrat en silicium structuré pour la microfabrication de dispositifs microfluidiques. Plaque et en
Substrat en silicium structuré pour la microfabrication de dispositifs microfluidiques. Plaque et enceinte chauffante programmable. Sur le substrat de silicium est déposé un film mince de résine photosensible gravée ensuite par exposition à une radiation lumineuse. La photolithographie est une étape essentielle à la microfabrication.
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