Plasma excité par résonance cyclotronique électronique distribuée (DECR) produit par 24 antennes mic

Plasma excité par résonance cyclotronique électronique distribuée (DECR) produit par 24 antennes micro-ondes placées en alternance avec autant de lignes d'aimants permanents. Les zones lumineuses correspondent au couplage RCE (Résonance Cyclotronique Electronique) dans des lignes de champ magnétique. Les conditions de fonctionnement sont les suivantes : oxygène / 3 mTorr / 130 Watt par ligne. Ce type de plasma peut être utilisé pour les modifications des propriétés physiques et chimiques des couches minces, pour les prothèses chirurgicales, les couches tribologiques ou encore les micro- et nanostructures magnétiques.