20020001_0735
© Laurence MEDARD/CNRS Photothèque

Dispositif pour l'étude de source élémentaire de plasma excitée à la RCE (Résonance Cyclotronique El

Référence

20020001_0735

Année de production

2002

Taille maximale

30 x 20 cm / 300 dpi

Légende

Dispositif pour l'étude de source élémentaire de plasma excitée à la RCE (Résonance Cyclotronique Electronique) à 2,45 GHz avec sonde électrostatique polarisée à +30V (échauffement par bombardement électronique) pour caractérisation du plasma d'argon. Génie des réacteurs plasma basse pression pour application aux traitements de surface : dépôts de couches métalliques par pulvérisation assistée par plasma, implantation ionique, gravure...

Délégations(s)

Thématiques scientifiques

CNRS Images,

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