20070001_1403

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20070001_1403

Plasma micro-onde multipolaire utilisé pour le dépôt de couches minces ou le traitement de surface d

Plasma micro-onde multipolaire utilisé pour le dépôt de couches minces ou le traitement de surface de matériaux. Le substrat, placé au centre du réacteur est soumis à un plasma homogène créé par les 8 festons périphériques.

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