Production year
2006
© François JANNIN/CNRS Images
Reference
20060001_1602
CeCaMA : Centre de Caractérisation des Matériaux Avancés. Appareils de caractérisation chimique et m
CeCaMA : Centre de Caractérisation des Matériaux Avancés. Appareils de caractérisation chimique et morphologique à l'échelle submicronique. Microsonde à spectrométrie d'électrons Auger. L'excitation par un faisceau d'électrons d'une vingtaine de nm de diamètre permet d'obtenir une information chimique avec une résolution spatiale exceptionnelle. Application à un procédé d'industrialisation en microélectronique.
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